向“芯”而行半导体产业聚链成群
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新春伊始,万象更新。2月7日,记者走进位于全椒经济开发区的全椒南大光电材料有限公司,“如果把硅片基板比作半导体的‘骨架’,那么高纯磷烷、砷烷等电子气体就是半导体的‘血液’,可用于掺杂过程以改变硅晶体的电学性质,或用于蚀刻和清洗,帮助精确控制电路图案的形成。”该公司总经理张弘告诉记者,公司2017年落户全椒县以来,保持高速增长,市场占有率不断提升,基本实现该领域产品的完全国产化,去年材料项目、半导体材料项目分别实现产值5.45亿元、4.1亿元。
除了南大光电,全椒县围绕半导体材料产业,还引进了博泰电子材料、秀朗新材料、亚格泰等30多家企业,形成电子材料产业园,被中国化工信息中心评为全国电子新材料产业示范基地。
半导体产业是新一代信息技术产业的核心,是国家战略性、基础性、先导性产业。近年来,滁州市抢抓长三角一体化发展机遇,依托南京江北新区集成电路产业优势,将半导体列入该市八大产业链之一重点打造,推动半导体产业聚链成群、集群成势。截至目前,该市拥有半导体相关产业企业近100家,去年产值超400亿元。滁州市新一代电子信息集群获批安徽省先进制造业集群,全椒县电子新材料产业集群、南谯区半导体设备及材料产业集群获批安徽省中小企业特色产业集群。
精密设备精准运行、机械手臂交错摆动、穿着特殊防尘服的技术人员来回穿梭……记者走进位于浦口—南谯省际毗邻地区新型功能区的滁州华瑞微电子科技有限公司无尘车间,一股浓厚的高科技气息扑面而来。经过氧化、曝光、蚀刻、清洗等工艺流程,一片片形如光盘、泛着光泽的6英寸晶圆从自动化机器上下线,等待进入下一道工序。
“企业订单爆满,春节期间也开足马力未停产。”滁州华瑞微公司总经理助理翁锦烽告诉记者,作为南谯浦口合作基金投资的头部个项目,企业由南京市浦口区推荐落户到滁州市南谯区以来,每年都保持了50%以上的增长率,2024年产值超4亿元。去年四季度,公司启动二期扩产项目,待达产后,每个月将有11万片晶圆从滁州工厂下线,运往全国各地。
作为华瑞微的下游企业,500米外的安徽辰达半导体有限公司同样一派忙碌,各条生产线满负荷运转,公司员工加班加点,确保产品如期发货。公司生产副总王秋飞向记者介绍,该公司是一家专注于半导体功率器件研发设计、封装测试及销售的国家高新技术企业,产品广泛应用于新能源汽车、工业控制、消费电子和家电等领域。“公司去年5月正式投产,订单现已排到今年5月。”王秋飞说。
“近年来,南谯区半导体及电子信息产业从无到有、从有到全、从全到优,逐步形成以‘材料设备为支撑、涵盖封装测试全环节、上下游相互协同’的产业发展体系。”南谯经开区副主任朱玉龙对记者说,目前该区半导体和电子信息产业项目共计38个,涵盖晶圆制造、封装测试、半导体设备和材料制造等领域,2024年产值突破50亿元,同比增长80%以上。
目前,滁州已初步形成以半导体封装测试、电子特气等高纯材料、电子元器件为主导,新型显示、LED照明等协调发展的产业格局。产业链的日趋完备,吸引越来越多的关联企业顺势加入,协同发展。当前,滁州市正全力推动明锐显示芯片、惠科电子纸、晶隆半导体等项目投产见效,力争今年全市半导体相关产业产值超600亿元。
“滁州将积极贯彻落实省委、省政府科技创新引领新质生产力发展大会精神,立足产业优势,大力引培半导体龙头企业,做精做强半导体特色细分领域,健全产业配套体系,逐步形成以半导体特色制造、先进封测、高端材料为核心的半导体配套产业集聚高地,以及以智能家电家居、智能仪器仪表为核心的半导体下游应用研创示范基地。”滁州市半导体产业链办公室相关负责人告诉记者,下一步,该市力争在半导体封装测试、半导体材料、特色制造等领域形成核心配套产业集群,在半导体光电器件、分立器件等应用领域形成产业应用示范基地,有效支撑长三角地区及全国电子信息制造业发展,形成品牌影响力。(记者 罗宝 李邦军)
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